경제
티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 日 특허 등록 완료
뉴스보이
2026.05.28. 09:29
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간단 요약
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이 특허 기술은 고청정 진공 환경에서 유리기판을 전방향 핸들링합니다.
티로보틱스는 이번 특허로 HBM 등 첨단 패키징 시장 공략에 나섭니다.
이 기사는 6개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
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티로보틱스가 반도체 유리기판 이송용 진공로봇 기술에 대한 일본 특허 등록을 완료했습니다.
이번 특허는 진공 챔버 내에서 기판을 이송하는 장치에 관한 것으로, 특허번호는 제7866808호입니다. 이 기술은 반도체 유리기판 공정 환경에 최적화되어 전방향 핸들링과 멀티 챔버 대응이 가능하며, 고청정 진공 환경 대응력을 강화한 것이 특징입니다.
티로보틱스는 국내 유일의 OLED 진공로봇 개발 기업으로, 8.6세대 OLED 이송로봇 기술을 기반으로 유리기판 이송용 진공로봇을 개발했습니다. 회사는 이번 특허 등록을 통해 고대역폭메모리(HBM) 등 첨단 패키징 시장 공략을 본격화할 계획입니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다. AI가 작성한 초안을 바탕으로 뉴스보이 에디터들이 최종검수하였습니다. (오류신고 : support@curved-road.com)
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