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신성이엔지, 자체 개발 제습모듈 'EDM' 납품 2년 만에 100대 출하 돌파

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뉴스보이

2026.07.02. 10:05

신성이엔지, 자체 개발 제습모듈 'EDM' 납품 2년 만에 100대 출하 돌파

간단 요약

EDM은 반도체 공정용 제습 모듈로, 파티클 필터링과 제습 기능을 통합했습니다.

고성능 제습 로터로 상대습도 5%RH까지 정밀 제어하며, 국내 주요 기업에 납품 중입니다.

이 기사는 3개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

신성이엔지가 자체 개발한 반도체 공정용 제습 모듈 EDM(Equipment Dehumidify Module)의 누적 출하량이 100대를 달성했습니다. 2023년 개발을 완료하고 2024년 첫 납품을 시작한 지 약 2년 만에 이룬 성과입니다. EDM은 파티클 필터링과 제습 기능을 하나의 모듈에 통합한 장비로, 반도체 및 드라이룸 제조 공정에서 필수 설비로 사용됩니다. 이 모듈은 고성능 제습 로터를 통해 상대습도를 5%RH 수준까지 정밀하게 제어하며, 실시간 습도 감지 센서와 자동 제어 시스템으로 안정적인 제습 환경을 유지합니다. 신성이엔지는 반도체 공정에서 습도가 수율에 직접적인 영향을 미치는 점에 주목하여 EDM을 개발했습니다. 현재 국내 주요 반도체 장비·소재 기업에 제품을 공급하고 있으며, 이번 100대 출하를 계기로 공급처를 확대할 계획입니다. 김동권 신성이엔지 클린환경연구실장은 올해 3세대 초소형 EDM 개발을 마무리하고 적용 범위를 다양한 산업 분야로 넓혀 나갈 것이라고 밝혔습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다.
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