IT/과학
한국표준과학연구원, 반도체 공정용 가스 15종 품질평가 체계 구축
뉴스보이
2026.08.06. 10:22
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간단 요약
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고순도 가스 15종의 순도 분석 기술과 시험 절차를 확립해 객관적인 품질 평가 기반을 마련했습니다.
인증표준물질 6종을 개발하고 시험 서비스를 제공하며 반도체 소재 국산화와 신뢰성 확보를 지원합니다.
이 기사는 6개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
이 기사는 6개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
한국표준과학연구원(KRISS)이 반도체 공정에 필수적인 고순도 가스 15종에 대한 순도 분석 기술과 시험 절차를 확립했습니다. 그동안 공급업체의 자체 성적서에 의존하던 관행에서 벗어나, 국내에서도 객관적인 품질 평가가 가능한 체계가 마련된 것입니다.
반도체 공정용 가스는 99.9999%(6N급)의 초고순도를 유지해야 합니다. 나머지 0.0001%에 포함된 수분, 산소, 금속 등 극미량 불순물을 판별하는 것은 고도의 정밀 측정 역량이 필요한 작업입니다. 이를 위해 표준연은 측정 정확성을 검증할 수 있는 주요 불순물 분석용 인증표준물질 6종을 개발했습니다.
2019년 일본 수출규제 이후 반도체 소재 국산화와 공급망 다변화의 중요성이 커졌습니다. 오상협 표준연 가스측정그룹 책임연구원은 소재 국산화가 산업 현장에 안착하려면 제품 품질을 입증할 객관적 데이터가 필수적이라고 강조했습니다.
현재 표준연은 확립된 시스템을 통해 총 34건의 시험 서비스를 제공하며 기술 지원을 이어가고 있습니다. 나아가 2030년 완공을 목표로 FITI시험연구원이 추진 중인 '반도체 가스 품질·안전 평가지원센터' 구축에도 분석 방법과 시험 절차에 대한 자문을 제공하며 협력을 강화하고 있습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다. AI가 작성한 초안을 바탕으로 뉴스보이 에디터들이 최종검수하였습니다. (오류신고 : support@curved-road.com)
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