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에너지연, 반도체 결함 억제하는 '고순도 중수소 암모니아' 국산화 성공
뉴스보이
2026.06.11. 09:46
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2026.06.11. 09:46
간단 요약
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일본과 중국에 전량 의존하던 물질의 국산화 기반을 확보했습니다.
자체 개발한 루테늄 촉매로 반도체 결함 억제 필수 물질을 생산했습니다.
이 기사는 8개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
이 기사는 8개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
그간 일본과 중국 등 해외 수입에 전량 의존해왔던 고순도 중수소 암모니아(ND₃)의 국산화 기반이 확보되었습니다. 한국에너지기술연구원 윤영철 박사 연구팀은 자체 개발한 루테늄 촉매를 적용하여 하루 7.7킬로그램(Kg) 규모의 중수소 암모니아 생산에 성공했습니다. 이는 반도체 제조 공정에서 소자 내부 결함을 억제하는 데 필수적인 물질입니다.
연구팀이 개발한 촉매는 기존 합성 방식에 필요한 압력을 5분의 1 수준으로 줄이고 온도 조건도 개선하여 99% 이상의 고순도 중수소 암모니아 합성을 가능하게 했습니다. 특히 루테늄 촉매에 산화바륨을 섞어 질소 분해에 드는 에너지를 줄여, 낮은 온도와 압력에서도 중수소 암모니아를 생산할 수 있습니다.
개발된 공정 설비는 1000시간 이상 연속 운전 검증을 완료하고 한국산업기술시험원의 인증을 획득하여 내구성과 신뢰성을 확보했습니다. 또한 반도체 성능에 영향을 미치는 불순물이 생성되지 않아 초고순도 중수소 암모니아의 안정적 생산이 가능함을 확인했습니다. 윤영철 박사는 분석 결과 49종 금속 불순물이 검출되지 않아 고순도 특수가스 수준의 품질 가능성을 확인했다고 밝혔습니다.
이번 기술 개발은 국내 생산 기반을 확보하여 수입 의존도를 낮추고, 향후 글로벌 특수가스 시장 진출의 발판을 마련했습니다. 연구진은 공정 최적화와 생산 규모 확대를 통해 반도체, 디스플레이, 정밀화학 산업용 동위원소 소재 시장 진출을 본격 추진할 계획입니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다. AI가 작성한 초안을 바탕으로 뉴스보이 에디터들이 최종검수하였습니다. (오류신고 : support@curved-road.com)
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