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"산소압력만 바꿨을 뿐인데" 한밭대 김정환 교수팀, 차세대 반도체 결함 줄이고 성능 향상 원리 규명

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뉴스보이

2026.06.15. 16:44

"산소압력만 바꿨을 뿐인데" 한밭대 김정환 교수팀, 차세대 반도체 결함 줄이고 성능 향상 원리 규명

간단 요약

차세대 디스플레이 및 3차원 메모리용 산화물 반도체에 적용됩니다.

급속열처리 공정 중 산소압력 제어로 결함 감소 및 전하 이동 특성이 향상되었습니다.

이 기사는 3개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

국립한밭대학교 신소재공학과 김정환 교수 연구팀이 차세대 디스플레이와 3차원 메모리의 핵심 소재인 산화물 반도체의 성능을 획기적으로 높이는 공정 최적화 기술을 규명했습니다. 연구팀은 새로운 소재 도입이나 복잡한 추가 공정 없이 급속열처리 공정 중 산소압력을 정밀하게 제어하는 것만으로 박막 내 결함을 효과적으로 줄이고 전하 이동 특성을 향상시켰습니다. 김정환 교수는 미래 반도체 소자의 효율을 극대화하기 위한 핵심이 산소 압력에 있었다고 설명했습니다. 이번 연구는 단순한 산소 압력 제어를 통해 반도체 소자의 품질과 성능을 모두 개선할 수 있음을 입증했습니다. 이 기술은 고성능 디스플레이와 대용량 3차원 메모리 등 다양한 차세대 반도체 기반 소자의 제조 공정 최적화와 상용화를 앞당기는 데 기여할 것으로 기대됩니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다.
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