IT/과학
KAIST·삼성, 이산화탄소 6000배 강력한 반도체 온실가스 분해 촉매 개발
뉴스보이
2026.09.03. 10:55
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간단 요약
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사불화탄소(CF₄)를 효과적으로 제거하는 새로운 촉매를 공동 개발했습니다.
기존 대비 분해 활성이 2.3배 높고 장시간 안정적인 성능을 유지합니다.
이 기사는 3개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
이 기사는 3개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
KAIST 최민기 생명화학공학과 교수 연구팀이 삼성전자 연구진과 공동으로 반도체 미세회로 공정 등에 사용되는 온실가스인 사불화탄소(CF₄)를 효율적으로 제거하는 촉매를 개발했습니다. CF₄는 이산화탄소보다 6,000배 이상 강력한 온실가스로, 대기 중으로 배출될 경우 약 5만 년간 잔류하며 지구온난화에 심각한 영향을 미치는 물질입니다.
연구팀은 알루미늄(Al), 아연(Zn), 갈륨(Ga), 니켈(Ni), 코발트(Co) 등 여러 금속을 하나의 알루미네이트 결정구조 안에 고르게 섞는 '엔트로피 안정화' 방식을 적용했습니다. 서로 다른 원자를 혼합해 무질서도를 높임으로써 구조적 안정성을 확보하는 이 원리를 통해, 촉매는 가혹한 공정 환경에서도 쉽게 변하지 않고 성능을 유지합니다.
실제 성능 실험 결과, 신규 촉매는 기존 알루미나 촉매보다 분해 활성이 약 2.3배 높았습니다. 특히 800℃의 가혹 조건에서 150시간 동안 진행한 실험에서 기존 촉매의 전환율이 급격히 떨어진 것과 달리, 새 촉매는 92%의 높은 전환율을 유지하며 뛰어난 내구성을 입증했습니다.
이번 연구 결과는 국제학술지 '앙게반테 케미 인터내셔널 에디션'에 게재되었습니다. 최민기 교수는 이번 기술이 반도체 공정뿐만 아니라 LCD와 OLED 제조 과정에서 발생하는 불소계 온실가스 저감에도 폭넓게 활용될 수 있을 것으로 기대한다고 밝혔습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다. AI가 작성한 초안을 바탕으로 뉴스보이 에디터들이 최종검수하였습니다. (오류신고 : support@curved-road.com)
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