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세메스, 반도체 검사장비 '프로브 스테이션' 5000호기 출하

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뉴스보이

2026.04.08. 13:52

세메스, 반도체 검사장비 '프로브 스테이션' 5000호기 출하

간단 요약

22년 만에 달성한 성과로, 웨이퍼 불량 선별전기적 특성 검사를 수행합니다.

HBM 테스트 효율화에 기여하며, 스마트 팩토리형 장비로 진화했습니다.

이 기사는 4개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

세메스가 반도체 검사장비인 차세대 프로브 스테이션(SEMPRO) 양산 5000호기 출하식을 8일 개최했습니다. 이 장비는 웨이퍼에 형성된 반도체 양품과 불량을 선별하며, EDS 공정에서 전기적 특성을 검사하는 자동화 설비입니다. 세메스는 2003년 첫 양산을 시작한 이래 22년 만에 5000호기 출하를 달성했습니다. 현재 무인 자동화 기능을 도입하여 스마트 팩토리형 장비를 생산하고 있습니다. SEMPRO는 고대역폭메모리(HBM) 테스트 발열 제어 및 고하중 컨택 정밀도 향상을 통해 EDS 공정 효율화에 기여하고 있습니다. 최병갑 세메스 팀장은 이번 5000호기 출하가 장비의 품질과 신뢰성을 인정받은 결과라고 밝혔습니다.
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