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기계연, 유연전자소자 대량생산 길 열어...미세한 비틀림까지 실시간 추적

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뉴스보이

2026.06.29. 09:58

기계연, 유연전자소자 대량생산 길 열어...미세한 비틀림까지 실시간 추적

간단 요약

기존 반도체 공정을 롤투롤 방식에 접목하여 유연전자소자의 연속 대량생산을 가능하게 했습니다.

미세한 기판 변형을 실시간 보정하고, 마스크 없이 다양한 패턴을 구현해 비용을 크게 절감했습니다.

이 기사는 11개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

한국기계연구원(KIMM)이 차세대 유연전자소자의 대량생산 기반을 마련했습니다. 장원석 KIMM 나노융합연구본부장 연구팀은 유연기판의 미세한 비틀림까지 실시간으로 추적하여 보정하는 '롤투롤 디지털 리소그래피 시스템'을 개발했습니다. 이 시스템은 반도체 공정의 핵심인 리소그래피 기술을 롤투롤 공정에 접목하여 기판 변형을 실시간으로 보정하면서 크기 제한 없는 연속 생산을 가능하게 합니다. 개발된 시스템은 DMD(Digital Micro mirror Device) 기반 디지털 노광 기술과 초정밀 이송 제어 기술을 융합했습니다. 이를 통해 최소 선폭 10마이크로미터(㎛) 이하의 고해상도 패터닝 성능을 구현하며, 기판 이송 중 발생하는 사행과 장력 변형도 실시간으로 측정 및 보정합니다. 특히, 기존 기술과 달리 보조 기판 없이 유연기판을 직접 이송하며 회전하는 곡면 롤 위에서 직접 패터닝이 이루어지는 라인빔 노광 구조를 적용했습니다. 별도의 노광 마스크 제작 없이 소프트웨어 설계만으로 다양한 패턴을 즉각 구현하여 제품 개발 기간과 생산 비용을 획기적으로 절감할 수 있습니다. 이 기술은 북미 최대 롤투롤 기술 학회인 '2026 R2R USA 컨퍼런스 엑스포'에서 '테크놀로지 오브 더 이어 파이널리스트'로 선정되며 기술력을 인정받았습니다. 장원석 본부장은 이 시스템이 유연전자소자의 대량생산을 가능하게 하는 핵심 플랫폼 기술이라고 밝혔습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다.
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