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햇빛만 비추면 반도체 폐수 100% 정화…켄텍·고려대, 신개념 광촉매 개발

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뉴스보이

2026.08.18. 09:08

햇빛만 비추면 반도체 폐수 100% 정화…켄텍·고려대, 신개념 광촉매 개발

간단 요약

반도체 공정의 맹독성 폐수인 TMAH를 12시간 만에 100% 분해하는 기술이 개발되었습니다.

버려지던 저순도 규조토를 활용해 경제성과 내구성을 모두 잡은 친환경 정화 기술입니다.

이 기사는 4개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

한국에너지공과대학교(KENTECH) 서동한 교수팀과 고려대 김영진 교수팀이 반도체 제조 공정에서 발생하는 맹독성 폐수를 친환경적으로 처리할 수 있는 고효율 광촉매 'DE 700'을 개발했습니다. 반도체와 디스플레이 공정에 필수적으로 쓰이는 테트라메틸암모늄 하이드록사이드(TMAH)는 수생태계와 인체에 신경독성을 유발하는 위험 물질로, 그동안 처리 과정에서 환경적 부담이 컸습니다. 연구팀은 반도체 웨이퍼 생산 과정에서 버려지던 저순도 흙인 규조토업사이클링해 촉매를 제작했습니다. 60℃ 미만의 수중 대기압 플라즈마 공정을 세계 최초로 적용해 이산화티타늄 나노층을 균일하게 합성한 결과입니다. 이렇게 개발된 DE 700은 가시광선을 포함한 넓은 태양광 영역에서 탁월한 흡수력을 보입니다. 실험 결과, 20ppm 농도의 TMAH 폐수에 촉매를 넣고 상용 태양광 램프를 쪼이자 12시간 만에 오염 물질이 100% 분해됐습니다. 이는 현재 산업계에서 가장 널리 쓰이는 상용 광촉매 'TiO₂ P25'의 분해율인 29.22%보다 월등히 높은 수치입니다. 또한 4회 반복 재사용 시에도 91~97%의 정화 효율을 유지하며, 정화된 물을 이용한 식물 발아 테스트에서도 생태계 독성이 관찰되지 않아 안전성을 입증했습니다. 이번 연구 성과는 환경·에너지 분야 국제학술지인 '서스맷(SusMat)'에 2026년 8월 10일 게재되며 기술의 공신력을 인정받았습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다.
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