경제
중국 반도체 장비 업체, EUV 핵심 부품 국산화율 90% 달성하며 ASML에 도전장
뉴스보이
2026.10.15. 20:02
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간단 요약
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중국 업체 랑다오 실렉스가 EUV 광원 시제품을 공개하며 기술 자립 의지를 드러냈습니다.
다만 상업적 양산까지는 3~5년의 기술 보완이 필요할 것으로 전망됩니다.
이 기사는 4개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.
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미국의 첨단 반도체 장비 수출 제한이 이어지는 가운데, 중국 반도체 장비 업체 랑다오 실렉스가 상하이에서 열린 제26회 중국 국제 공업박람회에서 자체 개발한 EUV 광원 시스템 시제품을 처음 공개했습니다.
이번에 선보인 '플린트나노 LPP OXXO'는 고출력 레이저로 플라즈마를 발생시켜 빛을 만드는 레이저 생성 플라즈마 방식을 적용했습니다. 업체 측은 핵심 부품의 국산화율이 90%에 달한다고 강조하며 기술 자립 수준을 과시했습니다.
하지만 실제 상업적 양산까지는 갈 길이 멉니다. 현재 공개된 시제품의 출력은 15W 수준으로, 반도체 양산에 쓰이는 ASML의 250W급 장비와는 기술적 격차가 큽니다. 업체는 출력 증대와 장기 가동 안정성을 확보하기 위해 향후 3~5년의 추가 개발 기간이 필요하다고 밝혔습니다.
앞서 중국은 자체 개발한 심자외선 노광장비 생산에 착수하는 등 반도체 장비 국산화에 속도를 내고 있습니다. 다만 이번 시제품에 대해서는 기술적 완성도와 상용화 가능성을 두고 업계의 평가가 엇갈리고 있습니다.
이 콘텐츠는 뉴스보이의 AI 저널리즘 엔진으로 생성 되었으며, 중립성과 사실성을 준수합니다. AI가 작성한 초안을 바탕으로 뉴스보이 에디터들이 최종검수하였습니다. (오류신고 : support@curved-road.com)
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