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DGIST, 머리카락보다 작은 초소형 광 초음파 센서 세계 최초 개발

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뉴스보이

2026.09.01. 19:28

DGIST, 머리카락보다 작은 초소형 광 초음파 센서 세계 최초 개발

간단 요약

기존 센서 대비 감도가 2만 5천 배 이상 향상된 기술을 확보했습니다.

8인치 반도체 공정을 활용해 대량 생산이 가능해질 전망입니다.

이 기사는 3개 언론사의 보도를 교차 검증하여 작성되었습니다.

대구경북과학기술원(DGIST) 로봇및기계전자공학과 한상윤·유재석 교수 공동 연구팀이 반도체 제조 공정을 활용해 세계 최초로 초소형 광(光) 초음파 센서를 개발했습니다. 이번 연구 결과는 광학 분야 국제 저명 학술지인 '포토닉스 리서치(Photonics Research)'에 게재되며 기술력을 인정받았습니다. 이번에 개발된 센서는 감지부 크기가 0.0004㎟(가로 30㎛×세로 13.5㎛)로 머리카락 굵기보다 작습니다. 특히 상용화된 기존 초음파 센서와 비교했을 때 유효 감지 면적당 수신 응답이 2만 5천 배 이상 높게 측정되는 압도적인 성능을 보였습니다. 연구팀은 실리콘 포토닉스 기술을 적용해 빛이 지나가는 광 회로와 미세 기계 구조물인 초박막 캔틸레버를 단일 칩 위에 구현했습니다. 이 기술은 기존 8인치 실리콘 웨이퍼 반도체 파운드리 인프라를 그대로 활용할 수 있어 대량 생산에 매우 유리하다는 장점이 있습니다. 향후 연구팀은 수십 개의 수신기를 한 칩에 모은 고밀도 배열형 시스템으로 발전시킬 계획입니다. 이를 통해 반도체와 이차전지 내부 결함을 찾는 비파괴검사는 물론, 의료 및 바이오 영상 분야로 활용 범위를 넓혀갈 예정입니다.
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